Procesul de film subțire poate implica o serie de proceduri chimice sau fizice diferite. Cele mai comune tehnici de prelucrare a filmelor subțiri sunt utilizarea de substanțe chimice lichide sau gazoase, metode de evaporare sau procesul de pulverizare. Combinațiile acestor tehnici sunt, de asemenea, comune în procesul de film subțire, care permite un control mai mare asupra proprietăților produsului final. Procesul de film subțire poate fi de natură fizică sau chimică.
Produsele chimice, sub formă lichidă sau gazoasă, pot fi folosite pentru a crea o peliculă subțire. Depunerea chimică în vapori, de exemplu, expune un material la o substanță chimică care se descompune sau reacționează la material. Există adesea produse secundare periculoase sau volatile create în timpul acestui proces, așa că laboratoarele trebuie să fie echipate pentru a elimina substanțele chimice rezultate. Încălzirea substratului poate spori creșterea peliculei subțiri în timpul depunerii chimice de vapori.
Evaporarea este un alt proces comun de film subțire. În evaporare, materialul țintă este încălzit până când se evaporă sau se sublimează. Odată ce substanța este un gaz, este eliberată într-o cameră care conține substratul pe care se va forma pelicula subțire. Substanța lovește substratul și formează o peliculă subțire.
Există o serie de mașini diferite care pot fi folosite pentru a evapora materialele țintă. Aceste mașini pot încălzi un material țintă pe o bobină încălzită, o placă sau într-o cameră încălzită. Substanțele pot fi, de asemenea, evaporate dacă sunt lovite de un fascicul de electroni sau fotoni de mare intensitate, cum ar fi cei emisi de un laser.
Procesul de pulverizare, numit și depunere prin pulverizare sau pulverizare cu magnetron reactiv, este un proces de film subțire utilizat în mod obișnuit. În timpul acestui proces, un substrat este plasat într-o cameră de vid într-o mașină specializată. Aerul este aspirat din cameră, iar materialul țintă este eliberat în cameră sub formă de gaz. Magneții puternici creează o sarcină care face ca materialul țintă să se ionizeze și să se depună pe substrat. Deplasarea substratului înainte și înapoi în timpul acestui proces asigură că pelicula subțire este distribuită uniform pe suprafața sa.
Procesul de film subțire creează pelicule subțiri de diferite elemente sau molecule care variază între câteva și câteva sute de atomi grosimi. Filmele subțiri au multe utilizări și sunt componente comune în calculatoare, dispozitive optice și ca filtre de culoare pentru camere și telescoape. Filmele subțiri sunt de obicei realizate din titan, aluminiu, aur, argint și aliaje ale acestor metale. Substraturile comune includ metale, materiale plastice, sticlă și ceramică.