Nanolitografia este un termen folosit pentru a descrie o serie de tehnici de creare a unor structuri incredibil de mici. Dimensiunile implicate sunt de ordinul zecilor de nanometri (nm). Un nanometru este o miliardime dintr-un metru, mult mai mic decât lățimea unui singur păr uman. Cuvântul litografie este folosit deoarece metoda de generare a modelului este în esență aceeași cu scrierea, doar la o scară mult mai mică.
O metodă comună de nanolitografie, utilizată în special în crearea de microcipuri, este cunoscută sub numele de fotolitografie. Această tehnică este o metodă paralelă de nanolitografia în care întreaga suprafață este desenată într-un singur moment. Cu toate acestea, fotolitografia este limitată în dimensiunea la care se poate reduce, deoarece dacă lungimea de undă a luminii utilizată este prea mică, lentila pur și simplu absoarbe lumina în întregime. Aceasta înseamnă că fotolitografia nu poate atinge dimensiunile super-fine ale unor tehnologii alternative.
O tehnologie care permite dimensiuni mai mici decât fotolitografia este cea a litografiei cu fascicul de electroni. Folosind un fascicul de electroni pentru a desena un model nanometru cu nanometru, pot fi atinse dimensiuni incredibil de mici (de ordinul a 20 nm). Cu toate acestea, litografia cu fascicul de electroni este mult mai costisitoare și consumatoare de timp decât fotolitografia, ceea ce o face o vânzare dificilă pentru aplicațiile industriale ale nanolitografiei. Deoarece litografia cu fascicul de electroni funcționează mai mult ca o imprimantă cu matrice de puncte decât cu o fotografie flash, o lucrare care ar dura cinci minute folosind fotolitografia va dura mai mult de cinci ore cu litografia cu fascicul de electroni.
Noile tehnologii de nanolitografie sunt cercetate și dezvoltate în mod constant, ceea ce duce la dimensiuni posibile din ce în ce mai mici. Litografia ultravioletă extremă, de exemplu, este capabilă să utilizeze lumina la lungimi de undă de 13.5 nm. Deși încă există obstacole în acest nou domeniu, acesta promite posibilitatea unor dimensiuni mult sub cele produse de standardele actuale ale industriei. Alte tehnici de nanolitografie includ nanolitografia dip-pen, în care un vârf mic este folosit pentru a depune molecule pe o suprafață. Nanolitografia cu pix poate atinge dimensiuni foarte mici, dar în prezent nu poate ajunge sub 40 nm.
Finanțarea cercetării în nanolitografie vine din mai multe locuri, inclusiv din lumea academică privată, companii futuriste cu un ochi către nanotehnologia de generație următoare și producători de cipuri consacrați care doresc să-și micșoreze cipurile cu mult sub dimensiunile lor actuale. Pe măsură ce interesul pentru nanotehnologie crește în sectoarele industriale, finanțarea și cercetarea se vor extinde, fără îndoială, în domeniul nanolitografiei, ceea ce duce la tehnologii mai adecvate și la limite chiar mai mici ale dimensiunii.