Ce este pulverizarea DC Magnetron?

Pulverizarea cu magnetron DC este unul dintre mai multe tipuri de pulverizare, care este o metodă de depunere fizică în vapori a peliculelor subțiri dintr-un material pe alt material. Cele mai comune metode de depunere prin pulverizare utilizate în 2011 sunt pulverizarea cu fascicul ionic, pulverizarea cu diode și pulverizarea cu magnetron DC. Pulverizarea are o mare varietate de utilizări științifice și industriale și este unul dintre procesele de producție cu cea mai rapidă creștere, utilizate în producția modernă.

Foarte simplu, pulverizarea are loc într-o cameră vid, unde o substanță este bombardată cu molecule de gaz ionizat care dislocă atomii din substanță. Acești atomi zboară și lovesc un material țintă, numit substrat, și se leagă de acesta la nivel atomic, creând o peliculă foarte subțire. Această depunere prin pulverizare se face la nivel atomic, astfel încât filmul și substratul au o legătură practic indestructibilă, iar procesul produce o peliculă uniformă, extrem de subțire și rentabilă.

Magnetronii sunt folosiți în procesul de pulverizare pentru a ajuta la controlul traseului atomilor deplasați care zboară aleatoriu în jurul camerei cu vid. Camera este umplută cu un gaz de joasă presiune, frecvent argon, și mai mulți catozi magnetron de înaltă tensiune sunt plasați în spatele țintei materialului de acoperire. Tensiunea înaltă curge de la magnetroni prin gaz și creează plasmă de înaltă energie care lovește ținta materialului de acoperire. Forța generată de aceste loviri de ioni de plasmă determină ejectarea atomilor din materialul de acoperire și legarea cu substratul.

Atomii care sunt ejectați în procesul de pulverizare zboară de obicei prin cameră în modele aleatorii. Magnetronii produc câmpuri magnetice de înaltă energie care pot fi poziționate și manipulate pentru a colecta și a conține plasma generată în jurul substratului. Acest lucru forțează atomii ejectați să parcurgă căi previzibile către substrat. Prin controlul traseului atomilor, rata de depunere a filmului și grosimea pot fi, de asemenea, prezise și controlate.

Utilizarea pulverizării cu magnetron DC permite inginerilor și oamenilor de știință să calculeze timpii și procesele necesare pentru a produce calități specifice ale filmului. Acest lucru se numește control al procesului și permite ca această tehnologie să fie utilizată de industrie în operațiunile de producție în masă. De exemplu, pulverizarea este utilizată pentru a crea acoperiri pentru lentilele optice utilizate în articole precum binocluri, telescoape și echipamente cu infraroșu și viziune pe timp de noapte. Industria calculatoarelor folosește CD-uri și DVD-uri care au fost fabricate folosind procese de pulverizare, iar industria semiconductoarelor folosește pulverizarea pentru a acoperi multe tipuri de cipuri și napolitane.

Ferestrele termoizolante moderne de înaltă eficiență folosesc sticlă care a fost acoperită prin pulverizare, iar multe articole de feronerie, jucării și decorative sunt fabricate folosind acest proces. Alte industrii care folosesc pulverizarea includ industria aerospațială, de apărare și de automobile, industria medicală, energetică, de iluminat și de sticlă și multe altele. În ciuda utilizării deja pe scară largă, industria continuă să găsească noi utilizări pentru pulverizarea cu magnetron DC.