Η χάραξη αντιδραστικών ιόντων είναι ένας τύπος τεχνολογίας που χρησιμοποιείται στη μικροκατασκευή για την αφαίρεση ουσιών από γκοφρέτες. Οι γκοφρέτες είναι μικρές λωρίδες ημιαγωγών που χρησιμοποιούνται για τη δημιουργία μικροσυσκευών και η τεχνολογία χάραξης αντιδραστικών ιόντων διασφαλίζει ότι παραμένουν απαλλαγμένα από υλικά που θα μπορούσαν να επηρεάσουν αρνητικά την αποτελεσματικότητά τους. Οι διαδικασίες μικροκατασκευής εκτελούνται με ειδικά σχεδιασμένες συσκευές που εντοπίζουν με ακρίβεια την ουσία που πρόκειται να αφαιρεθεί χωρίς να θυσιάζεται η ακεραιότητα της γκοφρέτας.
Η πιο κοινή συσκευή χάραξης αντιδραστικών ιόντων είναι κατασκευασμένη από ένα κυλινδρόμορφο διαμέρισμα κενού με μια απομονωμένη θήκη για τη γκοφρέτα προσαρτημένη στο κάτω μέρος του θαλάμου. Υπάρχουν μικρές τρύπες στο πάνω μέρος του δοχείου που αφήνουν αέριο. Χρησιμοποιούνται διάφοροι τύποι αερίων, ανάλογα με τις ατομικές απαιτήσεις μιας συγκεκριμένης γκοφρέτας.
Το επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα είναι ένας άλλος τρόπος αυτής της τεχνολογίας. Με αυτή τη συσκευή, το πλάσμα κατασκευάζεται από ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο μαγνητικό πεδίο. Δεν είναι ασυνήθιστο να επιτυγχάνονται υψηλά επίπεδα συγκέντρωσης στο πλάσμα με αυτή τη μέθοδο.
Το πλάσμα χάραξης αντιδραστικών ιόντων είναι μια κατάσταση ύλης που είναι χημικά αντιδραστική και δημιουργείται από το πιο τυπικό ηλεκτρομαγνητικό πεδίο ραδιοσυχνοτήτων (RF). Τα ιόντα μέσα στο πλάσμα έχουν ασυνήθιστα υψηλή ποσότητα ενέργειας. Αυτά τα ιόντα αντιδρούν στα συντρίμμια σε μια γκοφρέτα και εργάζονται για να αφαιρέσουν τα ελαττώματα στην επιφάνειά της.
Η χημική διεργασία που εμπλέκεται στην χάραξη αντιδραστικών ιόντων είναι πολύπλευρη. Πρώτον, ένα σημαντικό ηλεκτρομαγνητικό πεδίο αποστέλλεται στον θάλαμο πλακιδίων. Το πεδίο στη συνέχεια ταλαντώνεται, το οποίο ιονίζει τα μόρια του αερίου στο δοχείο και αφαιρεί τα ηλεκτρόνια τους. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα τη δημιουργία του πλάσματος.
Η χάραξη με αντιδραστικά ιόντα είναι ένας τύπος μιας ευρύτερης κατηγορίας αφαίρεσης μικροκατασκευής που ονομάζεται ξηρή χάραξη. Δεν χρησιμοποιεί υγρά στη διαδικασία αφαίρεσης, σε αντίθεση με την υγρή χάραξη, η οποία χρησιμοποιεί διάφορα οξέα και χημικές ουσίες για να πετύχει το ίδιο τέλος. Δεδομένου ότι η υγρή χάραξη προκαλεί υποβάθμιση της γκοφρέτας, καθώς και σημαντικές ποσότητες τοξικών αποβλήτων, η ξηρή χάραξη γίνεται μια πιο δημοφιλής μέθοδος αφαίρεσης χημικών γκοφρετών.
Ένα από τα κύρια μειονεκτήματα της χάραξης αντιδραστικών ιόντων είναι το κόστος. Σε σύγκριση με τις τεχνικές υγρής χάραξης, είναι πολύ πιο ακριβό λόγω του εξειδικευμένου εξοπλισμού που απαιτείται. Ωστόσο, οι διαδικασίες ξηρής χάραξης είναι πολύ πιο αποτελεσματικές για την προσέγγιση πιο δύσκολων περιοχών μιας γκοφρέτας. Είναι σημαντικό να θυμάστε, ωστόσο, ότι ορισμένες εργασίες δεν απαιτούν τη μικρή λεπτομέρεια που παρέχεται από αυτή τη μορφή χάραξης και οι διαδικασίες υγρής χάραξης μπορεί να ολοκληρώσουν την εργασία εξίσου αποτελεσματικά.