Τα μικροκύματα είναι περίπλοκα μηχανήματα και ενώ πολλοί άνθρωποι είναι εξοικειωμένοι με τα εύκολα παρατηρήσιμα εξαρτήματα μικροκυμάτων, όπως το πάνελ του κλειδιού, η χορδή τροφοδοσίας, το πικάπ και η κοιλότητα μαγειρέματος, το εσωτερικό έχει ενσωματωμένα εξαρτήματα μικροκυμάτων που λίγοι έχουν δει ποτέ. Βασικά, το εσωτερικό ενός φούρνου μικροκυμάτων χωρίζεται σε δύο τμήματα, δηλαδή το τμήμα ελέγχου και το τμήμα υψηλής τάσης. Το τμήμα ελέγχου περιέχει το χρονόμετρο, τα χειριστήρια εξόδου ενέργειας και μια σειρά από διακόπτες ασφάλισης και συσκευές ασφαλείας. Το τμήμα υψηλής τάσης περιέχει τον μετασχηματιστή υψηλής τάσης, τη δίοδο και τον πυκνωτή, τον οδηγό κύματος και τη λεπίδα του αναδευτήρα.
Ο πίνακας πλήκτρων σε ένα φούρνο μικροκυμάτων βρίσκεται γενικά στο μπροστινό μέρος και είναι η περιοχή όπου οι χρήστες θα εισάγουν τους χρόνους μαγειρέματος και το επιθυμητό επίπεδο ενέργειας. Το καλώδιο τροφοδοσίας είναι απλώς το μέρος που συνδέεται σε μια πρίζα τοίχου. Η κοιλότητα μαγειρέματος είναι ο χώρος εντός του φούρνου μικροκυμάτων όπου τοποθετείται το φαγητό. Το περιστρεφόμενο τραπέζι είναι η πλατφόρμα μέσα στην κοιλότητα μαγειρέματος που, σε πολλά μοντέλα φούρνου μικροκυμάτων, περιστρέφεται καθώς ψήνεται το φαγητό.
Το τμήμα ελέγχου περιέχει πολλά εξαρτήματα μικροκυμάτων που ρυθμίζουν την παραγωγή ενέργειας. Ο χρονοδιακόπτης, ο οποίος είναι συνδεδεμένος με το πληκτρολόγιο, έχει μια σειρά από κυκλώματα αλληλοασφάλισης που παρακολουθούν τη συχνότητα των σημάτων που αποστέλλονται στα μέρη που εφαρμόζουν την τάση και δημιουργούν μικροκύματα. Τα περισσότερα μικροκύματα περιέχουν δύο διακόπτες ασφαλείας κλειδώματος κοντά στην πόρτα που θα διακόψουν την παραγωγή ενέργειας μικροκυμάτων όταν η πόρτα είναι ανοιχτή. Διάφορες ασφάλειες και θερμικά προστατευτικά βρίσκονται στο τμήμα ελέγχου και χρησιμεύουν ως μηχανισμοί απενεργοποίησης έκτακτης ανάγκης σε περίπτωση υπερθέρμανσης ή ηλεκτρικών προβλημάτων. Το triac, ένας διακόπτης ηλεκτρομαγνητικού ρελέ που δημιουργεί μια διαδρομή τάσης όταν ο φούρνος μικροκυμάτων είναι έτοιμος να μαγειρευτεί, είναι επίσης μέρος του τμήματος ελέγχου.
Η περιοχή υψηλής τάσης της συσκευής περιέχει μέρη που δημιουργούν τα μικροκύματα. Ο μετασχηματιστής είναι αναπόσπαστο μέρος στο ότι μεταδίδει την τάση από την οικιακή πρίζα στη δίοδο και τον πυκνωτή. Η δίοδος και ο πυκνωτής είναι τα μέρη μικροκυμάτων που μεγεθύνουν την τάση μεταξύ 3,000 και 5,000 βολτ, ανάλογα με το μοντέλο. Η αυξημένη τάση μεταφέρεται σε ένα τμήμα που ονομάζεται σωλήνας μαγνητρόν, ο οποίος μετατρέπει την τάση σε μικροκύματα.
Μόλις δημιουργηθούν τα μικροκύματα, μεταδίδονται σε ένα μεταλλικό κανάλι που ονομάζεται κυματοδηγός. Ο κυματοδηγός τροφοδοτεί την ενέργεια στην κοιλότητα μαγειρέματος. Η κοιλότητα περιέχει ένα τμήμα που ονομάζεται λεπίδα αναδευτήρα, το οποίο περιστρέφεται αργά για να διασκορπίσει ομοιόμορφα τα μικροκύματα μέσα. Τα περισσότερα μικροκύματα έχουν ειδικές μεταλλικές σίτες στα παράθυρα της πόρτας και μεταλλικές επικαλύψεις κατά μήκος των τοίχων, έτσι ώστε τα μικροκύματα να αναπηδούν στο εσωτερικό και να εισχωρούν στο φαγητό από όλες τις γωνίες.
Άλλα εξαρτήματα μικροκυμάτων περιλαμβάνουν τη λυχνία κοιλότητας και τον κινητήρα ανεμιστήρα. Ο λαμπτήρας κοιλότητας είναι ο μικρός λαμπτήρας που φωτίζει το εσωτερικό της κοιλότητας. Ο κινητήρας του ανεμιστήρα είναι ένας μικρός ανεμιστήρας που προστατεύει τη συσκευή από την υπερθέρμανση κατά τη λειτουργία. Τα μικροκύματα διατίθενται σε διαφορετικά στυλ και μεγέθη, και τα συγκεκριμένα μέρη και η θέση τους ποικίλλουν.