Actuatoarele folosesc, în general, o sursă de energie pentru a muta sau controla componentele mecanice. Se găsesc adesea în motoare și diferite mașini. Multe tipuri de dispozitive mecanice au fost miniaturizate de-a lungul anilor, dar acest proces necesită de obicei ca componentele individuale să fie mult mai mici. Miniaturizarea în secolul 21 a progresat până la punctul în care microactuatoarele și alte părți sunt atât de mici încât de multe ori trebuie folosite microscoape puternice pentru a le vedea. Procesele industriale, cum ar fi litografia și microprelucrarea sunt utilizate pentru a face un microactuator și există și diverse tipuri care pot fi realizate.
Un microactuator electrostatic este o varietate comună, dar oamenii de știință pot construi și varietăți electromagnetice care pot produce mai multă putere pentru a alimenta un dispozitiv precum un motor. Acestea sunt uneori dificil de realizat, dar sunt fabricate cu metode utilizate de obicei pentru realizarea de circuite integrate. Au fost fabricate motoare de aproximativ 0.04 inci (1 milimetru) și au fost adesea folosite de cercetători pentru a introduce catetere minuscule în celulele biologice.
Există, de asemenea, un microactuator piezoelectric cu materiale compozite care reacționează similar cu cristalele, care atunci când sunt împinse, creează o tensiune electrică. Filmele subțiri pot fi depuse pe siliciu care poate produce mișcare pe distanțe foarte scurte. Au fost uneori folosite în microrotoare miniaturale. Microactuatoarele cu ultrasunete sunt adesea folosite în motoarele mici încorporate în dispozitivele piezoelectrice. Acestea pot fi integrate în mecanismele de autofocus ale camerelor mici, de exemplu.
Componentele mecanice în mișcare pot fi construite la scară mică, dar un microactuator electrostatic este de obicei realizat dintr-un material care se îndoaie pe baza sarcinilor electrice. Mișcarea este, în general, la scară microscopică și se produce o cantitate mică de forță. Unele motoare rotative și unități de pieptene cu mișcare liniară au fost dezvoltate pe baza acestui principiu.
Microactuatoarele pot fi folosite pentru a construi oglinzi mici pentru afișaje și proiectoare. Releele de curent microscopice și mecanismele mici de control al hard disk-urilor folosesc adesea astfel de dispozitive miniaturale. Ele sunt adesea numite Sisteme Micro-Electromecanice (MEMS), o categorie care include multe tipuri de piese mobile in miniatura.
Producția de microactuatori poate fi realizată prin gravarea pieselor în silicon. Litografia este adesea folosită pentru realizarea de circuite. Lumina, substanțele chimice și un strat compus din părțile care trebuie adăugate sunt de obicei combinate în acest proces. Produsul finit este de obicei produs în straturi, în timp ce microprelucrarea implică adesea lasere și microscoape electronice cu scanare, de exemplu, pentru a plasa atomi și celule individuale. Ambele procese pot fi utilizate pentru a muta piesele microactuator și pentru a construi un dispozitiv micro-miniatural.