Ο όρος εναπόθεση υπό κενό περιγράφει μια ομάδα διεργασιών που προορίζονται να εναποθέσουν μεμονωμένα σωματίδια, συγκεκριμένα άτομα και μόρια, σε μια επιφάνεια. Οι διεργασίες διεξάγονται σε κενό για να αποτραπεί οποιαδήποτε παρεμβολή ή αντίδραση με σωματίδια αερίου όπως το οξυγόνο, τα οποία μπορεί να είναι εξαιρετικά αντιδραστικά. Ένα πολύ λεπτό στρώμα μιας ουσίας που εφαρμόζεται σε μια επιφάνεια αναφέρεται ως φιλμ, ενώ ένα παχύτερο στρώμα ονομάζεται επικάλυψη. Η εναπόθεση υπό κενό μπορεί να εξυπηρετήσει πολλούς διαφορετικούς σκοπούς, όπως η εναπόθεση αγώγιμων στρωμάτων σε επιφάνειες ή η προστασία μετάλλων από τη διάβρωση. Η διαδικασία χρησιμοποιείται επίσης συχνά σε διάφορα εξαρτήματα αυτοκινήτων για διάφορους σκοπούς, όπως η πρόληψη της σκουριάς και της διάβρωσης.
Οι πιο συχνά χρησιμοποιούμενες μέθοδοι εναπόθεσης υπό κενό περιλαμβάνουν τη χρήση ατμού. Μερικές φορές, η ουσία που πρόκειται να εναποτεθεί στην επιφάνεια εξατμίζεται. αργότερα συμπυκνώνεται ως στρώμα στην επιφάνεια. Σε άλλες περιπτώσεις, η ουσία ή οι ουσίες που έχουν εξατμιστεί αντιδρούν με την επιφάνεια για να σχηματίσουν το επιθυμητό φιλμ ή επικάλυψη. Σε ορισμένες περιπτώσεις, άλλοι παράγοντες όπως η θερμοκρασία ή η πυκνότητα των ατμών πρέπει να ρυθμιστούν για να επιτευχθούν τα επιθυμητά αποτελέσματα. Αυτοί οι παράγοντες μπορούν να επηρεάσουν το πάχος και τη συνοχή του στρώματος, επομένως είναι σημαντικό να ρυθμίζονται σωστά.
Η φυσική εναπόθεση ατμών είναι η εναπόθεση στο κενό στην οποία συμβαίνουν μόνο φυσικές διεργασίες. δεν υπάρχουν χημικές αντιδράσεις. Οι μέθοδοι φυσικής εναπόθεσης ατμών χρησιμοποιούνται κυρίως για την κάλυψη επιφανειών με λεπτές μεμβράνες. Οι εξατμισμένες ουσίες συμπυκνώνονται στην επιφάνεια. Μια τέτοια μέθοδος ονομάζεται φυσική εναπόθεση ατμών με δέσμη ηλεκτρονίων. Στη φυσική εναπόθεση ατμών με δέσμη ηλεκτρονίων, το υλικό που πρόκειται να εναποτεθεί θερμαίνεται και εξατμίζεται με μια δέσμη ηλεκτρονίων προτού συμπυκνωθεί στην επιφάνεια της εναπόθεσης. Μια άλλη κοινή μέθοδος φυσικής εναπόθεσης υπό κενό είναι η εναπόθεση διασκορπισμού, κατά την οποία αέριο ή ατμός εκτοξεύεται από κάποια πηγή και κατευθύνεται στην επιφάνεια που πρόκειται να επικαλυφθεί.
Η εναπόθεση χημικών ατμών είναι μια μορφή εναπόθεσης κενού στην οποία χρησιμοποιούνται χημικές διεργασίες για την παραγωγή του επιθυμητού φιλμ ή επικάλυψης. Τα αέρια ή οι ατμοί αντιδρούν με την επιφάνεια που προορίζονται να επικαλύψουν σε κενό. Πολλές διαφορετικές χημικές ουσίες, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου ή το πολυπυρίτιο, χρησιμοποιούνται σε διαφορετικές διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμών.
Το κενό είναι ένα ουσιαστικό μέρος της εναπόθεσης κενού. εξυπηρετεί αρκετούς σημαντικούς ρόλους. Η παρουσία κενού έχει ως αποτέλεσμα χαμηλή πυκνότητα ανεπιθύμητων σωματιδίων, έτσι τα σωματίδια που προορίζονται να επικαλύψουν την επιφάνεια δεν αντιδρούν ούτε συγκρούονται με τυχόν μολυσματικά σωματίδια. Το κενό επιτρέπει επίσης στους επιστήμονες να ελέγχουν τη σύνθεση κενού του θαλάμου κενού, έτσι ώστε να μπορεί να παραχθεί μια επίστρωση του κατάλληλου μεγέθους και συνοχής.