Ένας επαγωγικά συζευγμένος φασματόμετρο μάζας πλάσματος (ICP-MS) χρησιμοποιείται για τον προσδιορισμό της συγκέντρωσης συγκεκριμένων στοιχείων σε δείγματα πετρώματος και εδάφους για γεωλογικές μελέτες. Η ικανότητα αναγνώρισης του περιεχομένου των δειγμάτων είναι ευεργετική στην εξερεύνηση ορυκτών. Ένα υβρίδιο ενός επαγωγικά συζευγμένου φασματόμετρου μάζας πλάσματος είναι χρήσιμο για την παροχή της ισοτοπικής ηλικίας ορυκτών για ραδιομετρική χρονολόγηση. Αυτή η τεχνολογία χρησιμοποιήθηκε για πρώτη φορά στη δεκαετία του 1960 ως μέθοδος για την καλλιέργεια κρυστάλλων. Έχει βελτιωθεί για χρήση ως αναλυτικό εργαλείο για περιβαλλοντικούς σκοπούς.
Τα επαγωγικά συζευγμένα φασματόμετρα μάζας πλάσματος λειτουργούν γρήγορα και είναι κατάλληλα για την ανάλυση μεγάλων ποσοτήτων ιζημάτων και δειγμάτων εδάφους. Ένα διάλυμα ιζήματος ή πετρώματος τοποθετείται στο πλάσμα και η συγκέντρωση του δείγματος προσδιορίζεται από το φως που εκπέμπεται. Ο εξοπλισμός μπορεί να αναγνωρίσει περισσότερα από 40 στοιχεία. Το αργό είναι ένα από τα στοιχεία που ένα φασματόμετρο μάζας δεν μπορεί να αναγνωρίσει.
Ο εξοπλισμός ICP-MS έχει τρεις σωλήνες, οι οποίοι συνήθως είναι κατασκευασμένοι από πυρίτιο και δημιουργούν το τμήμα πυρσού του εξοπλισμού. Το τμήμα πυρσού του εξοπλισμού βρίσκεται σε ένα πηνίο, το οποίο ψύχεται με νερό, μέσα σε μια γεννήτρια ραδιοσυχνοτήτων. Όταν αέρια περνούν μέσω του φακού, ενεργοποιείται ένα πεδίο ραδιοσυχνοτήτων. Το αέριο μέσα στο πηνίο γίνεται τότε αγώγιμο.
Στη συνέχεια, ένας επαγωγικά συζευγμένος φασματόμετρο μάζας πλάσματος μετρά το φως που εκπέμπεται από τα ιόντα στο δείγμα. Το φως μετατρέπεται σε ηλεκτρικά σήματα και η ένταση των σημάτων που προκύπτουν συγκρίνεται με γνωστές εντάσεις. Η αντιστοίχιση των αποτελεσμάτων με γνωστές πληροφορίες είναι αυτή που προσδιορίζει το στοιχείο. Τα στοιχεία μπορεί να έχουν πολλά μήκη κύματος, γεγονός που καθιστά την εμπειρία κρίσιμο παράγοντα κατά την εκτέλεση της ανάλυσης.
Ένας πολυσυλλεκτικά επαγωγικά συζευγμένος φασματόμετρο μάζας πλάσματος (MC-ICPMS) χρησιμοποιείται στη γεωχρονολογία. Η γεωχρονολογία χρησιμοποιεί τη μέτρηση της ραδιενεργής διάσπασης για να προσδιορίσει την ηλικία ενός δείγματος. Σε αυτό το σύστημα, τα ιόντα παράγονται με εισαγωγή στο πλάσμα που απομακρύνει τα ηλεκτρόνια, αφήνοντας τα θετικά ιόντα. Τα ιόντα επιταχύνονται και στη συνέχεια εστιάζονται. Η εστιασμένη δέσμη διέρχεται από ένα φίλτρο, το οποίο διαχωρίζει τα ιόντα με βάση τη μάζα τους.
Τόσο το MC-ICPMS όσο και το ICP-MS χρησιμοποιούν το σύστημα σύγκρισης μετρούμενων τάσεων για τη λήψη επιστημονικών αποτελεσμάτων. Επαγωγικά συζευγμένα φασματόμετρα μάζας πλάσματος μπορούν να βρεθούν σε εργαστήρια που συμμετέχουν στη δειγματοληψία εδάφους και νερού. Είναι χρήσιμα σε μελέτες γεωχημείας και χημικής οικολογίας. Μπορούν να ανιχνεύσουν θείο, φώσφορο και βόριο, επομένως λειτουργούν πολύ καλά για τη δοκιμή του καθαρισμού στα συστήματα διανομής νερού.