Οι ενεργοποιητές χρησιμοποιούν γενικά μια πηγή ενέργειας για τη μετακίνηση ή τον έλεγχο μηχανικών εξαρτημάτων. Βρίσκονται συχνά σε κινητήρες και διάφορα μηχανήματα. Πολλά είδη μηχανικών συσκευών έχουν μικροποιηθεί με την πάροδο των ετών, αλλά αυτή η διαδικασία απαιτεί συνήθως τα μεμονωμένα εξαρτήματα να είναι επίσης πολύ μικρότερα. Η μινιατούρα στον 21ο αιώνα έχει προχωρήσει σε σημείο που οι μικροενεργοποιητές και άλλα μέρη είναι τόσο μικρά που συχνά πρέπει να χρησιμοποιηθούν ισχυρά μικροσκόπια για να τα δουν. Βιομηχανικές διεργασίες όπως η λιθογραφία και η μικροκατεργασία χρησιμοποιούνται για την κατασκευή ενός μικροενεργοποιητή και υπάρχουν διάφοροι τύποι που μπορούν να κατασκευαστούν επίσης.
Ένας ηλεκτροστατικός μικροενεργοποιητής είναι μια κοινή ποικιλία, αλλά οι επιστήμονες μπορούν επίσης να κατασκευάσουν ηλεκτρομαγνητικές ποικιλίες που μπορούν να παράγουν περισσότερη ισχύ για να ενεργοποιήσουν μια συσκευή όπως ένας κινητήρας. Μερικές φορές είναι δύσκολο να κατασκευαστούν, αλλά κατασκευάζονται με μεθόδους που χρησιμοποιούνται συνήθως για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Έχουν κατασκευαστεί κινητήρες με διάμετρο περίπου 0.04 ίντσες (1 χιλιοστό) και έχουν χρησιμοποιηθεί συχνά από ερευνητές για την εισαγωγή μικροσκοπικών καθετήρων σε βιολογικά κύτταρα.
Υπάρχει επίσης ένας πιεζοηλεκτρικός μικροενεργοποιητής με σύνθετα υλικά που αντιδρούν παρόμοια με τους κρυστάλλους, οι οποίοι όταν πιέζονται, δημιουργούν ηλεκτρική τάση. Οι λεπτές μεμβράνες μπορούν να εναποτεθούν σε πυρίτιο που μπορεί να παράγει κίνηση σε πολύ μικρές αποστάσεις. Μερικές φορές έχουν χρησιμοποιηθεί σε μικρομινιατούρες ρότορες. Οι μικροενεργοποιητές υπερήχων χρησιμοποιούνται συχνά σε μικρούς κινητήρες ενσωματωμένους σε πιεζοηλεκτρικές συσκευές. Αυτά μπορούν να ενσωματωθούν σε μηχανισμούς αυτόματης εστίασης μικρών καμερών, για παράδειγμα.
Τα κινούμενα μηχανικά εξαρτήματα μπορούν να κατασκευαστούν σε μικρή κλίμακα, αλλά ένας ηλεκτροστατικός μικροενεργοποιητής είναι συνήθως κατασκευασμένος από ένα υλικό που κάμπτεται με βάση τα ηλεκτρικά φορτία. Η κίνηση είναι γενικά μικροσκοπική σε κλίμακα και παράγεται μικρή ποσότητα δύναμης. Ορισμένοι περιστροφικοί κινητήρες και κινητήρες χτένας γραμμικής κίνησης έχουν αναπτυχθεί βάσει αυτής της αρχής.
Οι μικροενεργοποιητές μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την κατασκευή μικροσκοπικών καθρεφτών για οθόνες και προβολείς. Τα μικροσκοπικά ρελέ ρεύματος και οι μικροί μηχανισμοί ελέγχου των σκληρών δίσκων συχνά χρησιμοποιούν τέτοιες μικροσκοπικές συσκευές. Συχνά ονομάζονται μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα (MEMS), μια κατηγορία που περιλαμβάνει πολλά είδη μικροσκοπικών κινούμενων μερών.
Η παραγωγή μικροενεργοποιητών μπορεί να επιτευχθεί με χάραξη εξαρτημάτων σε σιλικόνη. Η λιθογραφία χρησιμοποιείται συχνά για την κατασκευή κυκλωμάτων. Φως, χημικά και ένα στρώμα που αποτελείται από τα μέρη που πρέπει να προστεθούν συνήθως συνδυάζονται σε αυτή τη διαδικασία. Το τελικό προϊόν παράγεται συνήθως σε στρώματα, ενώ η μικροκατεργασία συχνά περιλαμβάνει λέιζερ και ηλεκτρονικά μικροσκόπια σάρωσης, για παράδειγμα, για την τοποθέτηση μεμονωμένων ατόμων και κυττάρων. Και οι δύο διαδικασίες μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τη μετακίνηση εξαρτημάτων μικροενεργοποιητή και την κατασκευή μιας μικρομικροσκοπικής συσκευής.